a) 分析速度高重要的意義。測定用時與測定精密度有關(guān)，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素等多個領域。
b) X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)再獲，而且跟固體、粉末應用擴展、液體及晶質(zhì)體驗區、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒關(guān)系（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)活動上，這種效應(yīng)更好有望。波長變化用于化學(xué)位的測定 。
c) 非破壞分析導向作用。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變方案，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量堅持好，結(jié)果重現(xiàn)性好即將展開。
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